嘉兴海宁市洁净无尘车间为什么要控制温湿度?其原因又是什么?

发表时间:2020-11-12 14:46

嘉兴海宁市洁净无尘车间为什么要控制温湿度?其原因又是什么?

  嘉兴海宁市无尘车间的温湿度主要是根据加工工艺要求来确认,在满意加工工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。跟着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗今后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超越55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

  嘉兴海宁市洁净厂房主体结构的耐久性要与室内装备、装修水平协调,并要具有防火、操控温度变形和不均匀沉陷功能。建筑伸缩缝要防止穿过洁净区。放射性药品出产厂房应要符合国家关于辐射防护的有关法律法规。工厂装修以为洁净区内通道要有恰当宽度,以利于物料运输、设备装置、检修等。建筑平面和空间布局要具有恰当的灵活性。洁净区的主结构不宜选用内墙承重。送风道、回风道、回风地沟的外表装修应要与整个送、回风系统相适应,并易于除尘。洁净区的室内装修要选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。

嘉兴海宁市洁净无尘车间为什么要控制温湿度?其原因又是什么?

  但是关于大部分洁净空间,为了避免外界污染侵入,需要坚持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的保持一般应该符合以下几种原则:

  1、嘉兴海宁市无尘室装修洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。

  2、相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。

  3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

  压力差的保持依托新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义就是漏泄(或渗透)风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。

  关于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:

  1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间比较,要求速度衰减更快,分散视点更大。

  2、水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起外表微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。

  在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的笔直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s,水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s。

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